2022-07-22
مسیرهای فنی زیادی در فرآیند اصلی باتری TOPCON وجود دارد.فرآیند آماده سازی باتری TOPCON شامل تمیز کردن و جمع کردن، انتشار بور جلو، حکاکی شیشه بوروسیلیکات (BSG) و گره پشتی، آماده سازی تماس غیرفعال سازی اکسید، رسوب آلومینا / نیترید سیلیکون جلو، رسوب نیترید سیلیکون پشت، چاپ روی صفحه، تف جوشی و آزمایش است.در میان آنها، آماده سازی تماس غیرفعال سازی اکسید، فرآیندی است که توسط TOPCON بر اساس perc اضافه شده است، و همچنین فرآیند اصلی TOPCON است.در حال حاضر، عمدتاً چهار مسیر فنی وجود دارد:
(1) انتشار ذاتی LPCVD + فسفر.از تجهیزات LPCVD برای رشد لایه اکسید سیلیکون و رسوب پلی سیلیکون استفاده کنید و سپس از کوره انتشار برای مخلوط کردن فسفر با پلی سیلیکون برای ایجاد اتصال PN، تشکیل ساختار تماس غیرفعال و سپس اچ استفاده کنید.
(2) کاشت یون LPCVD.ساختار تماس غیرفعال توسط تجهیزات LPCVD تهیه می شود و سپس توزیع فسفر در پلی سیلیکون به طور دقیق توسط ایمپلنت کننده یونی کنترل می شود تا دوپینگ محقق شود و سپس بازپخت و در نهایت اچینگ انجام می شود.
(3) PECVD دوپینگ درجا.لایه اکسید تونل زنی توسط تجهیزات PECVD تهیه شد و پلی سیلیکون در محل دوپ شد.
(4) PVD دوپینگ درجا.با استفاده از تجهیزات PVD، مواد با کندوپاش در خلاء بر روی سطح بستر رسوب می‌کنند.
LPCVD بالغ ترین است.PECVD و PVD می توانند مشکل آبکاری بسته بندی را حل کنند، اما مزایا و معایب آنها متفاوت است.در حال حاضر، فرآیند LPCVD نسبتا بالغ است.اصل این است که ترکیبات گازی را تحت فشار کم و دمای بالا تجزیه کرده و سپس آنها را بر روی سطح بستر قرار داده تا فیلم مورد نیاز تشکیل شود.کنترل فرآیند ساده و آسان است، یکنواختی تشکیل فیلم خوب است، و چگالی بالا است، اما سرعت تشکیل فیلم آهسته است، دمای بالا مورد نیاز است، و رسوب قطعات کوارتز نسبتا جدی است.با این حال، پدیده گسترده آبکاری بسته بندی باید با معرفی تجهیزات اچینگ اضافی حل شود، که پیچیدگی فرآیند را بیشتر می کند.برخلاف LPCVD که از انرژی حرارتی برای فعال شدن استفاده می کند، PECVD از امواج مایکروویو، فرکانس رادیویی و دیگر گازهای حاوی اتم های فیلم برای تشکیل پلاسمای موضعی استفاده می کند و فیلم مورد نیاز را با فعالیت بالای گاز پلاسما روی سطح زیرلایه رسوب می دهد.مزیت آن این است که سرعت تشکیل فیلم بسیار سریع است و آبکاری سیم پیچ بسیار کوچک است، اما کنترل یکنواختی فیلم غیرفعال دشوار است و ممکن است حباب هایی وجود داشته باشد که در نتیجه اثر غیرفعال سازی ضعیف ایجاد می شود.PVD با CVD متفاوت است زیرا رسوب فیزیکی را می پذیرد، پدیده بسته بندی وجود ندارد و سرعت تشکیل فیلم سریع است.با این حال، فرآیند فعلی نسبتاً نابالغ است، تجهیزات مورد نیاز گران است، مقدار مواد مورد نظر زیاد است، یکنواختی مقاومت مربع ضعیف است و کیفیت باتری تولید شده ناپایدار است.
در هر زمان با ما تماس بگیرید
